今天小编要和大家分享的是测量仪表相关信息，接下来我将从采用MEMS倾角传感器实现倾角测量系统的软硬件设计，mems电场传感器敏感芯片感应原理这几个方面来介绍。
测量仪表相关技术文章采用MEMS倾角传感器实现倾角测量系统的软硬件设计
在地质石油勘探、设备安装、道路桥梁建设等工程应用以及机器人控制、坦克和舰船火炮平台控制、飞机姿态控制等系统的自动 水平调节中，都需要高精度的倾角测量。但高精度的倾角，测量设备通常体积较大，成本高，使许多工程应用受到限制。本文从倾角的高精度测量出发，着重介绍了 倾角传感器输出稳定性处理、温度补偿、非线性处理（正弦曲线拟合）、信号调理及其测量电路的特殊处理等。
1 倾角测量系统的硬件设计
倾角测量系统硬件部分主要由MEMS传感器（含双轴倾角传感器和温度传感器）、SoC电路、数据处理及传输和其他辅助电路等模块组成。倾角测量系统的组成框图如图1所示。
1．1 MEMS倾角传感器接口
MEMS倾角传感器采用芬兰VTI Technologies公司的SCA100t系列中的SCA100T-D01，测量范围为±30°。SCA100T系列是采用微机电系统（MEMS）技 术制造的一款高分辨率双轴倾角传感器。SCA100T-D01数字输出分辨率为0．035°／LSB，模拟输 出分辨率为0．002 5°。模拟输出的分辨率大大高于数字输出的分辨率，故本设计采用其模拟输出。模拟输出将涉及较为复杂的模拟信号处理，如果模拟信号处理不当，系统的分辨率 和精度将大打折扣，有时甚至还不如数字输出。采用合理的模拟信号处理电路是保证系统精度的方法之一。