今天小编要和大家分享的是测量仪表相关信息，接下来我将从基于MEMS加速度计实现动态倾角测量系统的设计，透射电镜原位mems加热/电学测量系统这几个方面来介绍。
测量仪表相关技术文章基于MEMS加速度计实现动态倾角测量系统的设计
引 言
基于MEMS加速度计的倾角测量模块具有体积小、质量轻、成本低、抗冲击、可靠性高等优点。对有加速度干扰下的倾角测量存在较大误差，本文围绕这一误差产生的来源和去除这种误差的方法进行了研究。
旋转状态下的倾角测量属于有加速度干扰的动态倾斜角度测量的一种。在旋转参考系下，质量为m的物体受到指向旋转中心的连接物的牵引力，但却相对于该参考系静止，没有加速度，不符合牛顿第一定律。所以，相对于惯性系作匀速转动的参考系也是非惯性系，要在这种参考系中保持牛顿第二定律形式不变，在质点静止于此参考系的情况下，应引入离心惯性力，该力与旋转轴垂直。该状态下影响被测对象倾斜角度正确输出的加速度正是该力造成的。为了抵消这种在旋转状态下由于加速度引起的误差，本文介绍了5种不同的实现方案，并比较了各自的优缺点。
1、动态倾角测量系统的构建
1.1 单轴／双轴加速度计和直流电机方案
如图1所示，V1为双轴加速度计，V2为单轴加速度计。V1为直流电机的负载，通过控制算法使AY的输出值始终向-1.0gn无限靠近（与重力加速度同向），此时，与AY垂直的AX轴的输出刚好为向心加速度-a。V2的输出值为