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测量仪表相关技术文章Agilent脉冲参数测试仪的应用特点及优势分析
安捷伦科技的Agilent 4075和4076 DC/RF/脉冲参数测试仪，用来检定使用高级工艺技术（如65 nm技术节点）制造的器件。通过Agilent 4075和4076，半导体测试工程师可以同时测量RF特点和DC特点，以满足当前体积日益缩小的多样化半导体器件需求，如65 nm及更高工艺的超薄栅氧化物晶体管、绝缘体上硅（SOI）晶体管和高介电常数（高k）器件。
体积缩小和器件速度提高，日益需要在生产过程中实现新的参数测试功能，而过去只有在实验室中才需要这些功能。Agilent 4075和4076为精确检定新的器件结构提供了所需的灵活性，如超薄栅氧化物MOSFET （金属氧化物半导体场效应晶体管）或通信应用中使用的高速半导体器件。通过先进的设计，Agilent 4075和4076支持10-ns短脉冲式IV测量，对热量或电荷异常灵敏的器件必需进行此类测量，如高速逻辑应用中使用的SOI晶体管和高介电常数晶体管。此外，Agilent 4076支持直到1 fA的超低电流测量功能。
与整个4070系列一样，Agilent 4075和4076支持300 mm SECS/GEM自动化协议，这些协议已经在世界各地的生产线中得到验证。SECS/GEM是半导体行业的标准，保证制造设备共享一致的界面和行为。